Azot triflorür yarı iletken proses malzemeleri
Birim fiyatı: USD 9999 / Ton
Min.Order |
Birim fiyatı |
100 Ton |
USD 9999 / Ton |
Ürün tanıtımı Azot triflorür (NF 3 ) bir tür renksiz, kokusuz ve karakter kararlı gazdır, aynı zamanda bir tür güçlü oksidandır. Erime noktası 206.8 ℃, kaynama noktası 129.0 ℃, suda çözünmez. Mikroelektronik endüstrisindeki azot triflorür, plazma...
Çin Azot triflorür yarı iletken proses malzemeleri Tedarikçiler
Mikroelektronik endüstrisindeki azot triflorür, plazma dağlama işlemi sırasında aktif flor iyonuna çatlamış olan bir tür mükemmel plazma gravür gazıdır. Silikon ve silikon nitrürün plazma aşınması için, azot triflorür kullanılarak, özellikle entegre devre materyali, 1.5 μm'den az kalınlıkta kazıma işleminde karbon tetraflorür veya karbon tetraflorür veya oksijen karışık gaz kullanmaktan daha yüksek aşındırma oranına ve seçiciliğe sahiptir. Azot triflorür mükemmel aşındırma oranına ve seçiciliğe sahiptir, dahası, kazınmış malzemenin yüzeyinde kirlilik yoktur, aynı zamanda iyi bir temizlik ajanıdır.